产品特点/应用
2至6英寸样品台
高真空腔体
防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
77K-675K高低温环境
兼容IV/CV/RF测试
外置多探针臂，移动行程大
经济实用，可无缝升级
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
| ◆ 腔体规格： |
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| 型号 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
| 样品台尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 样品固定 | 弹簧压片 |
| 观察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 真空度 | 10-6torr |
| 探针臂接口 | 4~6个探针臂接口 |
| 其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
| 制冷方式 | 液氮/液氦/制冷机 |
| 温度范围 | 77K到573K/4.5K到573K |
| 温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
| 稳定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
| 外形 | 880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 |
| 重量 | 约100千克/120千克 |
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| ◆ 光学系统： |
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| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
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| ◆ 探针臂： |
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| X-Y-Z移动行程 | 50mm*50mm*50mm |
| 结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 |
| 移动精度 | 10微米/1微米 |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 频率支持 | DC-67GHZ |
| 针尖直径 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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| ◆ 其他组件： |
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| 真空组件 | 分子泵组/机械泵/离子泵 |
| 冷源组件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机 |
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| ◆ 可选附件 |
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| 超高温配件 |
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| 显示器 |
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| 转接头 |
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| 射频测试配件 |
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| 屏蔽箱 |
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| 光学平台 |
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| 镀金卡盘 |
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| 光电测试配件 |
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| 高压测试配件 |
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| 分子泵组 |
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| 激光系统 |
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| 气敏测试配件 |
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PS：探针台可根据客户要求定制。规格设计可能产生更改。