产品简介
SMM3000X 系列是精确的源/测量单元（SMU）仪器，可同时输出并测量电压和电流，集成了电流源、电压源、电压表、电流表功能，特别适合半导体特征分析，纳米级器件和材料，有机半导体等测试应用。
主要特性
高精度脉冲模拟
脉冲模式下，SMM3000X系列支持±10.5A的脉冲电流输出，最小脉宽可达50us，能够精准模拟功率器件的瞬态工况，如GaN(氨化镓)、SiC(碳化硅)器件的开关损耗测试等，为功率半导体器件的研发和测试提供了强有力的支持。
线性/对数扫描
SMM3000X系列支持线性/对数扫描，可根据用户预设的起始点至终止点，以固定的步进值逐点输出电压或电流，同时自动测量并记录每个点的值。用户可以快速地验证二极管、晶体管等半导体器件在不同工作点下的特性，获取其导通特性曲线，对器件进行性能分析和优化。
灵活自定义序列
列表模式支持用户自定义输出序列，最小间隔可达10uS，参数变化可以是线性的，也可以是非线性的，甚至是任意值或自定义顺序。SMM3000X按照列表中设定的值依次输出电压或电流同时测量并记录数据，适用于不规则的电压/电流变化测试或多段测试等。
数据可视化分析
SMM3000X系列提供了Graph视图、ROI视图和测量结果视图等多种视图模式。用户可以通过Graph视图对数学运算结果进行实时曲线绘制，通过ROII视图对测试数据的时域波形进行显示通过测量结果视图获得迹线统计结果统计视图。多种视图模式提供了多维度的参数分析，用户可更直观地理解和分析测试数据。
高效程控
SMM3000X系列基于先进的SCPI命令集，支持通过USB、LAN接口与计算机通信，实现高效便捷的远程控制。用户既可通过网页Web Server轻松操控，也可结合SCPI命令进行深度自定义编程，满足多样化测试需求。此外，用户还可利用Socket通信技术，通过TCP/IP协议与SMM3000X进行网络交互，轻松实现远程测试与控制。
特性参数
最大单路输出电流：±3.03A
最大单路输出电压：±210V
最大输出功率：31.8W
通道数：1, 2
分辨率：10fA/100nV
读数分辨率：6½
最大输出：±210V/3.03A/31.8W
脉冲特性：±10.5A
采集速率：100,000 points/s
脉冲特性：±10.5A，最小脉宽50μs
DC or Pulsed：±210V ≤0.105A；±21V ≤1.515A；±6V ≤3.03A
Pulsed：±200V ≤1.515A；±6V ≤10.5A
电流量程：10nA - 3A
电流分辨率：10fA(源)，10fA(测量)
电压量程：200mV - 200V
电压分辨率：100nV(源)，100nV(测量)
电压编程精度：0.015% + 225μV (±200mV Range)
电压测量精度：0.015% + 225μV (±200mV Range)
电流编程精度：0.1 % + 100 pA (±10nA Range)
电流测量精度：0.1 % + 100 pA (±10nA Range)
显示：5英寸TFT触控屏，分辨率800*480
接口：USB Host，USB Device，LAN，Digital IO，GPIB(选)
产品类型
产品型号 | 通道数 | 分辨率 | 读数分辨率 | 最大输出 | 脉冲特性 | 采集速率 |
SMM3311X | 1 | 10fA/100nV | 6½ | ±210V/3.03A/31.8W | ±10.5A | 100,000 points/s |
SMM3312X | 2 | 10fA/100nV | 6½ | ±210V/3.03A/31.8W | ±10.5A | 100,000 points/s |