薄膜热电参数测试仪是一台用来测薄膜材料电导率和塞贝克系数的一体化测试设备，设备具有测试便捷、测试范围广、以及智能化数据分析等特点，将薄膜器件的电导率和塞贝克系数测试流程简化到极致，可在高真空环境下实现100K-400K温度区间的塞贝克系数和电导率测量。测试系统如下图所示：
• 电导率测试
电导率测试采用四线法测量器件的电阻，电源模块输出一个设定电流，采用高精度电压表测量器件两端的电压，根据公式 可得到电导率计算公式 ，其中R为器件电阻，L为长度，S为横截面积。因此需要在软件中设置器件的长度和横截面积，软件即可自动得出材料电导率。测量电路图如下：
图：电导率测试电路图
• 塞贝克系数测试
赛贝克测试中，测试器件跨放在热端和冷端两个平台上，采用电源给热端和冷端分别加热，并产生一个温差，采用测温仪读取样品中间两点的温差，然后使用高精度电压表来测量这两点之间的电压，根据赛贝克系数计算公式 计算得到器件的赛贝克系数，测试连接电路图如下所示：
• 数据分析软件
软件界面如下所示，软件分为设置，图表和数据三个界面，各界面功能介绍如下所示
3.1 设置界面：用户在此界面设置和选择所有需要测试的参数和功能，界面中包含器件的三维图，用户可根据实际器件结构在界面中标注器件厚度、沟道宽度和长度，软件将自动用于电导率和塞贝克参数计算图. 用户设置界面
3.2 图表界面如下所示，主要用于显示所有测试曲线结果的曲线，测试结束后可一键保存曲线图片
3.3 数据界面如下所示，在数据界面显示所有测试所需查看的数据，并可一键生成数据报告
• TETF-LN薄膜热电参数测试仪主要参数指标
序号 | 技术参数指标描述 |
1 | 用于测量薄膜材料电导率、塞贝克系数 |
2 | 塞贝克系数测量范围：100nV/K - 1V/K |
3 | 高低温块温差调节范围：1-10K，调节精度0.1k |
4 | 塞贝克系数电压测量精度：1nV |
5 | 电导率测量器件电阻范围10mΩ-100MΩ |
6 | 电导率检测电流输出范围10nA-100mA，电压测试精度1nV |
7 | 系统配置真空分子泵，真空度优于Pa |
8 | 建立温差采用两路独立温控，温控精度0.1K，稳定度0.5K |
9 | 测试环境温度范围为100K-400K |
10 | 升温速率0-20K/min |
11 | 降温方式：液氮主动降温 |
12 | 自带分析软件，可智能自动测量并计算塞贝克系数和电导率，并绘制数据曲线 |
• TETF-LN薄膜热电参数测试仪售后承诺
• 设备软件免费升级及维护：在3年内，卖方承担对软件进行免费升级和维护的义务。卖方对设备软件进行了改进或研发了新软件，应立即对用户软件进行免费升级，如用户软件在使用过程中出现故障，卖方应免费维修。
• 保修期内保证可多次现场服务，并及时提供技术支持。
• 整个系统验收交付使用后质量保证期为36个月，日期以系统验收完毕移交日起计。
• 卖方应保证有全天候热线电话服务。在保修期内设备出现故障，卖方（设备制造商）应在接到用户有详细描述故障现象的报修通知后24小时内做出反应，3个工作日内排除故障，如不能按期排除故障，则设备保修期顺延，但卖方（设备制造商）应在15天内排除故障。
• 在保修期内设备出现故障，卖方（设备制造商）在接到用户有详细描述故障现象的报修通知后需在2个工作日作出反应，如有需要可根据协商情况派工程师到现场解决问题。